Установка прямого экспонирования следующего поколения
14 ноября 2023 года
На европейский рынок установку LeVina продвигает компания «Ucamco». Установка выполнена по японской технологии компании «SCREEN».
Передовой в мире производитель 2 мкм изображенийzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzz
В установке объединены совершенные головки изображения, оснащённые оптическим перемещением SCREEN GLV, и технологии лазерного контроля. Новая система специально создана для массового производства и позволяет получать прямое изображение структур
Производительность 100 подложек в час при 5/5 мкм структурах проводник-зазорzzzzzzzzzzzzzzzz
Установка LeVina оснащена очень надёжной системой головок, способной к перемещению вплоть до 480 мм в секунду. Метки выравнивания считываются во время сканирования, обеспечивая исключительную производительность, независимо от количества меток в направлении сканирования. Это обеспечивает выпуск до 100 подложек в час, размером 510×515 мм, для 5/5 мкм рисунка
Низкая стоимость производстваzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzz
Благодаря лазерным диодам в световом источнике, установка снижает операционные затраты примерно на 70%.
Улучшение чистотыzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzzz
В установке LeVina заблокирован источник появления частиц с помощью технологии контроля воздушного потока, хорошо зарекомендовавшей себя в оборудовании очистки для производства полупроводников. Эти достижения снизили загрязнения внутри системы, помогая существенно увеличить выход годных.
***********************
Компания OOO «БалтМедиа Партнёр» в коммерческом партнёрстве с коллегами помогает внедрению и освоению эффективной техники на российском рынке производителей электроники.
По вопросам, связанным с производством электронной продукции, просьба использовать контакт:
Тел. +7 (921) 895−1422, (812) 994−9502
Электронная почта: office@bmptek.ru
https://bmptek.ru
Управляющий проекта — Алексей Леонов
